Preparazzjoni tawajer tan-nijobjupermezz ta' depożizzjoni kimika tal-fwar
Id-depożizzjoni tal-fwar kimiku, jew CVD, hija metodu ta 'degradazzjoni ta' kimiċi gassużi f'materjali solidi taħt kundizzjonijiet ta 'temperatura għolja. Dan il-metodu għandu l-vantaġġi ta 'tħaddim sempliċi, ċiklu ta' produzzjoni qasir, u spiża baxxa ta 'produzzjoni. Dawn li ġejjin huma l-passi dettaljati għall-preparazzjoni tal-wajer tan-nijobju:
1. Preparazzjoni qabel il-preparazzjoni
L-ewwel, trab tal-metall tan-nijobju ta 'kwalità għolja għandu jintgħażel, skrinjat u rfinut biex jiġi żgurat li l-kwalità tat-trab u l-istat tal-wiċċ jissodisfaw ir-rekwiżiti. Fl-istess ħin, għandhom jintgħażlu gass adattat, temperatura ta 'reazzjoni, ħin ta' reazzjoni u kundizzjonijiet oħra biex jiżguraw il-progress bla xkiel tar-reazzjoni.
2. Proċess ta 'preparazzjoni
Trab tan-nijobju huwa miżjud mar-reattur, u t-temperatura tar-reazzjoni titla 'għal madwar 1300 grad bit-tisħin. Imbagħad, il-gass ta 'reazzjoni (bħal pentachloride tan-nijobju) jiġi introdott fir-reattur u gradwalment dekompost fuq il-wiċċ tat-trab tan-nijobju biex jiġġenera fwar tan-nijobju tal-metall. Fil-ħin ta 'reazzjoni xieraq, il-fwar tan-nijobju se jiġi depożitat f'film irqiq ġewwa r-reattur, u finalment jifforma wajer tan-nijobju.
3. Post-ipproċessar
Wara li l-wajer tan-nijobju jiġi ffurmat, huwa meħtieġ post-ipproċessar. Ġeneralment, il-wajer tan-nijobju jeħtieġ li jiġi ttemprat biex jelimina l-istress intern u l-inhomogeneità strutturali u biex itejbu l-proprjetajiet fiżiċi tal-wajer tan-nijobju.
Wiri ta 'stampa tal-prodott tal-wajer tan-nijobju Zhenan
