Fatturi Tekniċi li Jaffettwaw il-Bexx tal-Plażma għall-Preparazzjoni tal-Mira ta' Sputtering

Il-bexx tal-plażma juża fjamma tal-plażma biex issaħħan u jdub it-trab tal-isprej, u jifforma kisja. Il-bexx tal-plażma tipikament juża gass Ar jew G, b'5% sa 10% gass Ar miżjud. Il-gass jidħol fir-reġjun b'forma ta' ark- taż-żona tal-elettrodu, fejn jissaħħan u jonizzat biex jifforma plażma. It-temperatura tal-qalba tipikament tilħaq aktar minn 15,000 grad F. Trab tal-metall jew mhux-metalliku jiġi introdott fil-ġett tal-plażma, imsaħħan għal stat semi-imdewweb, imdewweb jew vaporizzat. Il-forza tal-impatt tiddepożita t-trab fuq is-sottostrat, li tirriżulta f'miri b'funzjonalitajiet varji. Il-fatturi tekniċi li ġejjin jaffettwaw l-effettività tal-bexx tal-plażma għall-preparazzjoni tal-mira tal-isputtering:

1. Qawwa tal-Ark

Qawwa ta 'l-ark eċċessiva żżid il-grad ta' jonizzazzjoni tal-plażma u t-temperatura tal-fjamma, potenzjalment tivaporizza l-materjal sprejjat u tbiddel il-kompożizzjoni tal-kisi. Enerġija eċċessiva tirriżulta f'tisħin insuffiċjenti tal-partiċelli tat-trab, li tirriżulta f'adeżjoni baxxa tal-kisi, ebusija, u effiċjenza tad-depożizzjoni.

2. Sistema ta 'Provvista ta' Trab

Ir-rata tal-provvista tat-trab għandha tkun proporzjonata mal-qawwa tad-dħul. B'mod ġenerali, il-kunsinna tat-trab fiċ-ċentru tal-fjamma tikseb tisħin ottimali u l-ogħla veloċità.

3. Spray Distanza u Spray Angolu

Il-karatteristiċi tal-materjal sprejjat u l-kisi tiegħu huma sensittivi ħafna għad-distanza tal-bexx. Jekk id-distanza tal-isprej hija kbira wisq, it-temperatura u l-veloċità tat-trab jonqsu, u b'mod sinifikanti tnaqqas is-saħħa tat-twaħħil u l-effiċjenza tal-isprej. Jekk id-distanza tal-isprej hija żgħira wisq, it-temperatura tal-wiċċ tas-sottostrat tkun għolja wisq, u taffettwa l-adeżjoni tal-kisi. Jekk it-temperatura tas-sottostrat tippermetti, hija rakkomandata distanza iżgħar tal-bexx. L-angolu tal-isprej għandu ġeneralment ikun akbar minn 45 grad. Angolu tal-isprej iżgħar se jikkawża "effett ta 'dell," li jirriżulta f'vojt fil-kisi u jikkawża kisi maħlul.

4. Kontroll tat-Temperatura tas-Sustrat

Qabel il-bexx, saħħan minn qabel il-biċċa tax-xogħol għat-temperatura tal-bexx meħtieġa. Imbagħad, uża miżuri ta 'tkessiħ bħal ġettijiet ta' l-arja biex iżżomm temperatura kostanti.

5. Pressjoni tal-isprej

Il-bexx tal-plażma bi pressjoni baxxa-(imsejjaħ ukoll bexx tal-plażma bil-vakwu) ġeneralment jintuża fil-bexx ta 'materjali tal-metall. Il-bexx isir f'kamra ta' atmosfera kkontrollata bi pressjoni ta' 4 sa 40 kPa. Minħabba li l-gass tax-xogħol jonizzat jespandi u jiġi ejected f'atmosfera ta 'pressjoni baxxa-, il-veloċità tal-ġett tista' tilħaq veloċitajiet supersoniċi, li tagħmilha adattata għall-isprejjar ta 'ossidazzjoni-metalli sensittivi. Għaċ-ċeramika ta ' l-ossidu, ilma -sprejjar tal-plażma stabbilizzat jistgħu jintużaw, li joffru densità għolja ta ' enerġija, kombustjoni stabbli, u effiċjenza għolja ta ' l-isprej.